一种回收制备超纯氩的装置

基本信息

申请号 CN201922479770.X 申请日 -
公开(公告)号 CN211644606U 公开(公告)日 2020-10-09
申请公布号 CN211644606U 申请公布日 2020-10-09
分类号 C01B23/00(2006.01)I 分类 无机化学;
发明人 邱浩铭;丛维军;乐韵;赵霖;于洋;金万宇;刘智超;邱长春 申请(专利权)人 大连中鼎化学有限公司
代理机构 大连智高专利事务所(特殊普通合伙) 代理人 李楠
地址 116039辽宁省大连市甘井子区辛艺街18号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种回收制备超纯氩的装置,属于气体生产与应用领域。主要技术方案如下:一种回收制备超纯氩的装置,包括依次通过管路串连的前置缓冲罐、压缩机、尾气预处理系统和低温再沸液化氩气系统;所述的尾气预处理系统包括催化塔、热交换器、吸附干燥塔;所述的催化塔包括第一催化塔和第二催化塔,所述的第一催化塔连接第一热交换器,所述的第二催化塔连接第二热交换器;本发明可根据产品的纯度要求灵活调节。该方法特别适用于用氩气做保护气的工业炉放空废气中回收氩气,具有十分良好的经济效益和环保效益。