一种从化合物半导体尾气回收高纯氨的装置及方法
基本信息
| 申请号 | CN202010124823.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111389169A | 公开（公告）日 | 2020-07-10 |
| 申请公布号 | CN111389169A | 申请公布日 | 2020-07-10 |
| 分类号 | B01D53/00(2006.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 邱长春;范伟宏;乐昀;俞凯旋;丛卫军;赵霖;于洋;邱浩铭;刘智超 | 申请（专利权）人 | 大连中鼎化学有限公司 |
| 代理机构 | 大连智高专利事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 李楠 |
| 地址 | 116039辽宁省大连市甘井子区辛艺街18号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种从化合物半导体尾气回收高纯氨的装置及方法，属于环境与资源利用技术领域。主要技术方案为：包括依次连接的尾气缓冲罐、多级压缩机和低温再沸脱气氨液化装置，以及阀门、管道管件和控制系统；所述的低温再沸脱气氨液化装置包括透平膨胀机、主换热器、冷凝塔、再沸脱气塔、液氨储存釜，在液氨储存釜内部设有次换热器，再沸脱气塔的底部与液氨储存釜连接。本发明大大地降低了LED和化合物半导体生产的成本，提高了器件生产产量，具有回收效率高、回收的液氨纯度高、纯化深度好、回收成本低的显著特点，同时实现节能减排、节能环保和资源综合利用的目的，促进本领域发展，具有无可比拟的技术优势和广阔的应用前景。 |
