显微镜下的旋转定位平台的控制系统和控制方法

基本信息

申请号 CN201810064802.7 申请日 -
公开(公告)号 CN108563246B 公开(公告)日 2021-04-27
申请公布号 CN108563246B 申请公布日 2021-04-27
分类号 G05D3/12;G02B21/32 分类 控制;调节;
发明人 尚万峰;王春宝;刘铨权;段丽红;申亚京 申请(专利权)人 广东铭凯医疗机器人有限公司
代理机构 北京品源专利代理有限公司 代理人 孟金喆
地址 518035 广东省深圳市福田区华富街道梅岗社区笋岗西路3004号银华大厦18EE05
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种显微镜下的旋转定位平台的控制系统和控制方法,该系统包括:旋转控制台、第一、第二平移控制台、样品台、视觉反馈子系统、驱动器、和双闭环定位控制系统,第一、第二平移控制台的运动方向与所述旋转控制台的旋转轴垂直;双闭环定位控制系统包括:外部位置控制器计算内环输入位移量;第一、第二平移控制台的位移闭环控制子系统包括:插入式重复控制器根据输入位移量与反馈位移量的误差计算位移补偿控制量;原始闭环位移控制子系统根据输入位移量与反馈位移量的误差计算位移控制量,并结合位移补偿控制量来控制驱动器驱动第一、第二平移控制台进行位移。提高显微镜下微纳米尺度样本的旋转定位精度,大大改善了样品的显微成像效果。