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一种循环冷却系统及长晶炉

基本信息

申请号	CN202111397595.5	申请日	-
公开（公告）号	CN114086245A	公开（公告）日	2022-02-25
申请公布号	CN114086245A	申请公布日	2022-02-25
分类号	C30B23/00（2006.01）I;C30B29/36（2006.01）I	分类	晶体生长〔3〕;
发明人	李帅;刘家朋;潘亚妮;邵红;李硕;石志强	申请（专利权）人	山东天岳先进科技股份有限公司
代理机构	北京君慧知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	刘晓佳
地址	250118山东省济南市槐荫区天岳南路99号
法律状态	-

摘要

本申请公开了一种循环冷却系统及长晶炉，尤其涉及一种用于碳化硅生长的循环冷却系统及长晶炉，所述循环冷却系统包括：循环管路；冷却组件，所述冷却组件包括冷却腔、缓冲腔、第一冷却介质、第二冷却介质和第三冷却介质，所述缓冲腔及待冷却件分别与所述循环管路相连，且所述循环管路、缓冲腔与所述待冷却件共同形成闭合回路，所述冷却腔与所述缓冲腔能够相连通；所述第一冷却介质在所述冷却腔内将所述第二冷却介质冷却，冷却后的第二冷却介质继续将所述第三冷却介质冷却，所述第三冷却介质在所述闭合回路之间循环，以将所述待冷却件导热体冷却。该循环冷却系统能够保证热量的均匀传递，其用于长晶炉中，有利于保持长晶炉中的热场稳定，可以提高长晶质量。