一种检测晶片缺陷用载物台及缺陷检测装置
基本信息
| 申请号 | CN202122033033.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215812368U | 公开（公告）日 | 2022-02-11 |
| 申请公布号 | CN215812368U | 申请公布日 | 2022-02-11 |
| 分类号 | G01N21/01（2006.01）I;G01N21/95（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 吴殿瑞;王永方;黄长航;邵红;谢新昌 | 申请（专利权）人 | 山东天岳先进科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京君慧知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 冯妙娜 |
| 地址 | 250118山东省济南市槐荫区天岳南路99号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请公开了一种检测晶片缺陷用载物台及缺陷检测装置，属于晶片检测领域。该检测晶片缺陷用载物台包括：放置台，所述放置台包括第一镂空区，所述第一镂空区的开口用于承载待检测的晶片；所述第一镂空区用于使发射信号源发出的信号穿过所述晶片传输到接收信号源。该载物台对晶片的待检测区域无遮挡，避免在检测晶片时放置台作为背景对测试结果产生干扰，保证检测的精确度。 |
