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一种自动密封的反应炉

基本信息

申请号 CN202122371952.2 申请日 -
公开（公告）号 CN215800054U 公开（公告）日 2022-02-11
申请公布号 CN215800054U 申请公布日 2022-02-11
分类号 C30B35/00（2006.01）I;C30B29/36（2006.01）I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 张健;庞茂鑫;程望;陈一栋;李桂凯 申请（专利权）人 山东天岳先进科技股份有限公司
代理机构 北京君慧知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 冯妙娜
地址 250118山东省济南市槐荫区天岳南路99号
法律状态 -

摘要

摘要 本申请公开了一种自动密封的反应炉，属于半导体材料制备技术领域。该反应炉包括炉体和炉体下盖，所述炉体下盖密封盖合所述炉体底部的进料口；升降机构，所述升降机构用于支撑炉体下盖，所述升降机构上升或下降以带动所述炉体下盖上升或下降；密封机构，所述密封机构包括设置在炉体下方的锁紧压轮，所述升降机构上升以带动所述炉体下盖上升至与炉体密封位置，所述锁紧压轮与所述炉体下盖下端面接触，以推动所述炉体下盖和所述炉体密封。该反应炉结构简单，可自动化进行装卸，提高工作效率，可用于大规模自动化生产半导体材料。