一种用于碳化硅晶体的退火载具
基本信息
| 申请号 | CN202121081115.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215628420U | 公开（公告）日 | 2022-01-25 |
| 申请公布号 | CN215628420U | 申请公布日 | 2022-01-25 |
| 分类号 | C30B33/02（2006.01）I;C30B29/36（2006.01）I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 张九阳;王瑞;薛港生;王含冠;李硕;李霞;宁秀秀;高超;梁庆瑞 | 申请（专利权）人 | 山东天岳先进科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京君慧知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 张伟朴 |
| 地址 | 250118山东省济南市槐荫区天岳南路99号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请公开了一种用于碳化硅晶体的退火载具，属于半导体材料制备技术领域。该用于碳化硅晶体的退火载具，包括：第一罩盖，所述第一罩盖包括第一盖板；第二罩盖，所述第二罩盖包括第二盖板，所述第二盖板设置在所述第一盖板的下方，所述第一盖板和第二盖板的边缘通过支撑柱连接，所述第一盖板和第二盖板之间用于放置待退火处理的碳化硅晶体。使用该退火载具对待退火处理的碳化硅晶体进行退火处理，能够减少碳化硅晶体两侧与中间区域的应力差，改善碳化硅晶体的面型质量，避免晶体出现开裂。 |
