一种碳化硅晶体电阻法退火用温控系统及方法
基本信息
| 申请号 | CN201811419766.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN109554761B | 公开（公告）日 | 2021-04-20 |
| 申请公布号 | CN109554761B | 申请公布日 | 2021-04-20 |
| 分类号 | C30B33/02(2006.01)I;C30B29/36(2006.01)I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 张岩;付吉国;董伟;赵然;周卫东;曾蕾 | 申请（专利权）人 | 国宏中宇科技发展有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 100089北京市海淀区长春桥路11号3号楼1204 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种碳化硅晶体电阻法退火用温控系统，包括生长炉炉体，生长炉炉体内部横向穿过有传热杆，出水口设置在生长炉炉体外侧，传热杆右端设置有进水口，进水口左侧安装有流量控制器，传热杆中部穿过底座并与底座内孔紧密接触，底座上方与坩埚托相连接，坩埚底部设置有籽晶槽，坩埚外围安置有测温热电偶，生长炉炉体与坩埚之间安装有保温罩，且生长炉炉体下方左侧安装有真空系统，生长炉炉体左侧上方和右侧下方分别安装有进气管和出气管。还包括控制PC，所述控制PC包括控制平台软件、控制模块和信号传输模块。 |
