温度控制方法、装置、系统及机器可读存储介质
基本信息
| 申请号 | CN201911042950.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110983442A | 公开（公告）日 | 2020-04-10 |
| 申请公布号 | CN110983442A | 申请公布日 | 2020-04-10 |
| 分类号 | C30B29/36;C30B23/00;G05D23/19 | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 张岩;刘兵;鲍慧强;李龙远;赵然;赵子强;陈菲菲 | 申请（专利权）人 | 国宏中宇科技发展有限公司 |
| 代理机构 | 北京润平知识产权代理有限公司 | 代理人 | 严政;刘依云 |
| 地址 | 100081 北京市海淀区气象路9号院8号楼4层418 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及晶体生长技术领域，公开了一种温度控制方法、装置、系统及机器可读存储介质。加热线圈竖直套装在加热容器外，用于与电源连接以使加热容器被加热到预设温度值，该方法包括：监测所述加热容器的顶部实际温度值和底部实际温度值；控制所述加热线圈上下移动以使所述顶部实际温度值与所述底部实际温度值的实际温差值为目标温差值。本发明通过自动控制加热线圈的位置，可实现对晶体生长过程中石墨坩埚上下温差的有效控制，提高晶体生长温场分布的稳定性。 |
