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石墨坩埚和碳化硅合成方法

基本信息

申请号 CN201911215682.7 申请日 -
公开（公告）号 CN111482148A 公开（公告）日 2020-08-04
申请公布号 CN111482148A 申请公布日 2020-08-04
分类号 B01J19/00;B01J19/24;C01B32/984 分类 一般的物理或化学的方法或装置;
发明人 赵然;葛明明;鲍慧强;李龙远;赵子强;陈菲菲 申请（专利权）人 国宏中宇科技发展有限公司
代理机构 北京润平知识产权代理有限公司 代理人 李健;邱成杰
地址 100081 北京市海淀区气象路9号院8号楼4层418
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及碳化硅原料合成领域，具体地涉及一种石墨坩埚和碳化硅合成方法。本发明一方面提供一种石墨坩埚，包括具有上端开口的筒体和可拆卸地连接于所述筒体以封盖所述上端开口的第一盖；所述筒体为可拆卸的组件以能够形成排料口。本发明提供的坩埚结构主要特点为分体式结构设计，坩埚由多个可拆装部件组成。可以打开任意连接部位取出碳化硅原料；这样不仅可以方便石墨坩埚的打开，在石墨坩埚局部腐蚀较严重需要更换时只需更换对应的部件，这样很大程度上延长了石墨坩埚的使用寿命，降低了原料合成成本。