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一种柔性薄膜测试装置及柔性薄膜生产线

基本信息

申请号	CN202010120846.4	申请日	-
公开（公告）号	CN111272798A	公开（公告）日	2020-06-12
申请公布号	CN111272798A	申请公布日	2020-06-12
分类号	G01N23/227(2018.01)I;G01N23/223(2006.01)I	分类	-
发明人	朱家畅;张卫卫;朱家宽;高锦龙;刘杰鹏	申请（专利权）人	旭科新能源股份有限公司
代理机构	北京集佳知识产权代理有限公司	代理人	旭科新能源股份有限公司
地址	314032浙江省嘉兴市嘉兴秀洲工业园区康和路嘉兴光伏科创园6#楼底楼东侧
法律状态	-

摘要

本发明公开了一种柔性薄膜测试装置及柔性薄膜生产线，所述柔性薄膜测试装置包括：用于传输铜铟镓硒柔性薄膜的腔体，腔体的两侧分别设有用于传输铜铟镓硒柔性薄膜的进口和出口，腔体内设有用于支撑并导向铜铟镓硒柔性薄膜的导向辊，腔体的内壁上设有用于检测铜铟镓硒柔性薄膜的EDX检测装置，腔体内设有用于冷却EDX检测装置周围环境的冷却装置。本发明通过在腔体内加装EDX检测装置，在铜铟镓硒柔性薄膜生产时进行检测，可以及时发现蒸镀过程中出现的问题，及时进行工艺调整。提高了铜铟镓硒的成品率。本发明所提供的柔性薄膜生产线实现了对铜铟镓硒柔性薄膜的线上检测，提高了铜铟镓硒柔性薄膜的成品率，提高了铜铟镓硒柔性薄膜的生产效率。