用于薄膜太阳能电池制造的高温蒸发炉
基本信息
| 申请号 | CN202022074302.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213866393U | 公开（公告）日 | 2021-08-03 |
| 申请公布号 | CN213866393U | 申请公布日 | 2021-08-03 |
| 分类号 | C23C14/24（2006.01）I;C23C14/06（2006.01）I;H01L31/18（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 张卫卫;朱家宽;刘杰鹏 | 申请（专利权）人 | 旭科新能源股份有限公司 |
| 代理机构 | 深圳三贤和新专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 戴锦跃 |
| 地址 | 314000浙江省嘉兴市秀洲工业园区康和路嘉兴光伏科创园6#楼底楼东侧 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了用于薄膜太阳能电池制造的高温蒸发炉，包括导流件、吊装法兰、隔热屏、坩埚、导流加热器、坩埚加热器；隔热屏设在导流件和坩埚外围，导流件为管状空心结构，坩埚是具有一开口的罐状容器，导流件与坩埚通过开口相连通，坩埚相对开口的另一端上设置有向自身内部凹进的凹槽，凹槽内设置有温控仪；导流件的侧壁设有可透射物料的喷孔；导流加热器设置在导流件外围，所述导流加热器设置通过具有绝缘性的固定环设置在导流件与隔热屏之间；坩埚加热器设置在坩埚外围，坩埚加热器设置设置在坩埚与隔热屏之间；隔热屏侧壁设有对应喷孔的通道，吊装法兰将导流件与隔热屏组装固定。优点：炉体小、隔热好、耐高温、结构紧凑。 |
