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一种巨量转移滚轴转印转移技术

基本信息

申请号	CN202111083038.6	申请日	-
公开（公告）号	CN113764552A	公开（公告）日	2021-12-07
申请公布号	CN113764552A	申请公布日	2021-12-07
分类号	H01L33/00（2010.01）I;H01L21/67（2006.01）I;H01L21/68（2006.01）I;H01L21/683（2006.01）I;H01L25/075（2006.01）I	分类	基本电气元件;
发明人	李志	申请（专利权）人	广西软视科技股份有限公司
代理机构	-	代理人	-
地址	542800广西壮族自治区贺州市生态产业园区桂苑西路3号厂房
法律状态	-

摘要

本发明公开了一种巨量转移滚轴转印转移技术，包括以下步骤：S1：通过卷转移系统控制PDMS压辊与待转移器件接触，通过基板侧面安装的显微镜与接收器实时反馈对准度；S2：控制PDMS压辊在供体基板上的Micro LED上移动，通过优化供体基板与PDMS压辊之间夹紧力，将Micro LED准确的转移至PDMS压辊表面；S3：将带有Micro LED的PDMS压辊转移至接收器基板上TFT相对应的位置，通过在基板侧面的显微镜，确定TFT与Micro LED精确对准。本发明通过卷转移系统控制PDMS压辊在供体基板上吸附Micro LED，在转移至接收器基板上，通过控制PDMS压辊与接收器基板的压力，将吸附的Micro LED粘附至接收器基板上TFT相应的位置，有效的提升了Micro LED的转移良品率，提高了产品的质量。