曝光机预对位单元真空管路
基本信息
| 申请号 | CN202023204277.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214586375U | 公开（公告）日 | 2021-11-02 |
| 申请公布号 | CN214586375U | 申请公布日 | 2021-11-02 |
| 分类号 | G03F7/20（2006.01）I;G03F9/00（2006.01）I;G02F1/13（2006.01）I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 肖林峰;徐飞;张国曦;李海丽 | 申请（专利权）人 | 南京中电熊猫液晶材料科技有限公司 |
| 代理机构 | 南京君陶专利商标代理有限公司 | 代理人 | 严海晨 |
| 地址 | 210033江苏省南京市栖霞区天佑路33号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及一种曝光机预对位单元真空管路，结构包括真空管路、曝光机、机器手臂、压力调节阀；曝光机设有两个预对位平台，每个预对位平台上分别配有机器手臂；真空管路分成两条支路，每条支路分别连接一个预对位平台以及与其匹配的机器手臂，真空管路与支路之间设有压力调节阀，支路与预对位平台连接处设有支路压力调节阀。预对位平台内部设有pin真空管路、平台真空管路，二者交错叠放，气孔均匀排布在预对位平台表面。有益效果：真空分压后各单元压力均衡，不易发生故障，不会因真空压力导致破片；设备稼动率提升，制造成本缩减。 |
