一种适用于光刻机的焦距调整方法
基本信息
| 申请号 | CN202010289792.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111458991A | 公开（公告）日 | 2020-07-28 |
| 申请公布号 | CN111458991A | 申请公布日 | 2020-07-28 |
| 分类号 | G03F9/00(2006.01)I;H04N5/232(2006.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 王泽明;朱勤;邓超略;黄文斌;高尊虎 | 申请（专利权）人 | 湖南印之明智能制造有限公司 |
| 代理机构 | 东莞市神州众达专利商标事务所（普通合伙） | 代理人 | 湖南印之明智能制造有限公司 |
| 地址 | 411100湖南省湘潭市高新区光华路摇钱树社区19号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及半导体领域，尤指一种适用于光刻机的焦距调整方法，采用一种高像素的手机摄像头来采集激光束照射到版材上成像图片，利用上位机中的ISP算法，对图像进行分析并根据图像中相邻像素之间的密度差距向线性模组发出驱动命令，使手机摄像头的位置一直调整，从而实现自动对焦的效果，调整偏差值。 |
