一种光刻机的自动对焦的工作装置
基本信息
| 申请号 | CN202021495629.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213122598U | 公开（公告）日 | 2021-05-04 |
| 申请公布号 | CN213122598U | 申请公布日 | 2021-05-04 |
| 分类号 | G03F7/20 | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 王泽明;邓超略;朱勤;黄文斌;赵家峰 | 申请（专利权）人 | 湖南印之明智能制造有限公司 |
| 代理机构 | 北京棘龙知识产权代理有限公司 | 代理人 | 聂颖 |
| 地址 | 411110 湖南省湘潭市高新区光华路摇钱社区19号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种光刻机的自动对焦的工作装置，包括基座和活动板，所述活动板的下方安装有对焦装置，所述基座的顶部一侧安装有电磁滑轨，所述电磁滑轨上活动设置有用于实现对焦装置的高度进行调节的高度调节装置，所述对焦装置上设置有用于对其左右对焦调节的滑动组件，所述基座的顶部设置有用于对不同尺寸大小的基片进行固定的固定装置，此光刻机的自动对焦的工作装置，改变了传统的对焦装置高度不易调节的方式，利用设置的高度调节装置，使得该对焦装置在对焦时可调节高度，进而提高对焦效率，并由电磁滑轨和滑动组件的配合，能实现对焦装置的前后左右位置进行自动调节，更进一步的完成精准的对焦工作。 |
