一种光刻机四个扫描头的工作机构
基本信息
| 申请号 | CN202021494551.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213457644U | 公开（公告）日 | 2021-06-15 |
| 申请公布号 | CN213457644U | 申请公布日 | 2021-06-15 |
| 分类号 | G03F7/20（2006.01）I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 王泽明;邓超略;朱勤;黄文斌;赵家峰 | 申请（专利权）人 | 湖南印之明智能制造有限公司 |
| 代理机构 | 北京棘龙知识产权代理有限公司 | 代理人 | 聂颖 |
| 地址 | 411110湖南省湘潭市高新区光华路摇钱社区19号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种光刻机四个扫描头的工作机构，包括基座和放置板，且曝光区域边槽上设有安装板，安装板底部连接有多个转动杆，所述转动杆底部连接有扫描头本体，多个所述扫描头本体外侧设有带动多个扫描头本体以不同的转速进行扫描处理的调速组件，且调速组件与放置板连接，所述放置板顶部连接有带动调速组件运动的传动组件，且传动组件与调速组件连接，此通过所设的传动组件带动所设的调速组件，进而实现对多个扫描头本体以不同的转速进行转动，便于实现不同扫描头本体在光刻机本体的带动作用下实现对以不同的转速对扫描区域进行扫描曝光处理，提高了多个扫描头本体在扫描区域以不同的转速扫描的效率。 |
