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一种光刻机的成像装置

基本信息

申请号	CN202021494552.X	申请日	-
公开（公告）号	CN213122597U	公开（公告）日	2021-05-04
申请公布号	CN213122597U	申请公布日	2021-05-04
分类号	G03F7/20	分类	摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕;
发明人	王泽明;邓超略;朱勤;黄文斌;赵家峰	申请（专利权）人	湖南印之明智能制造有限公司
代理机构	北京棘龙知识产权代理有限公司	代理人	聂颖
地址	411110 湖南省湘潭市高新区光华路摇钱社区19号
法律状态	-

摘要

本实用新型公开了一种光刻机的成像装置，包括底座和电动伸缩杆，所述电动伸缩杆安装于底座上方，所述电动伸缩杆远离底座的一端安装将放置在其上的PCB板放入光刻机工作位置进行曝光的旋转工作台，现有的升降平台在使用的过程中一次只可对一块PCB板进行放置，且每次更换新的PCB板后便需要重新进行高度调节，降低了工作效率，为此，我们提出一种光刻机的成像装置，使用旋转工作台代替普通工作台，可同时放入三块PCB板，通过电动伸缩杆即可同步完成三块PCB板的高度调节，之后通过旋转电机带动旋转工作台将三块PCB板依次放入光刻机工作位置，同时通过控制驱动电机即可完成对三块PCB板的偏转角度调节，即可依次进行曝光、收取和放入PCB板，提高工作效率。