一种应用于光刻机自动上板的控制方法
基本信息
| 申请号 | CN201911412264.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111025861A | 公开（公告）日 | 2020-04-17 |
| 申请公布号 | CN111025861A | 申请公布日 | 2020-04-17 |
| 分类号 | G03F7/20 | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 王泽明;朱勤;邓超略;黄文斌;高尊虎 | 申请（专利权）人 | 湖南印之明智能制造有限公司 |
| 代理机构 | 东莞市神州众达专利商标事务所（普通合伙） | 代理人 | 湖南印之明智能制造有限公司 |
| 地址 | 411100 湖南省湘潭市高新区晓塘路9号创新大厦913B室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及曝光设备领域，尤指一种应用于光刻机自动上板的控制方法，控制方法中具备对执行部输出的时间点进行记录与对比，而光刻机由主机控制，那么，主机在应用本发明的控制方法实现分时复用的方式，去同时操控多台光刻机，从而节约了成本并提高生产效率。 |
