首页/ 四川永祥新能源有限公司/ 专利详情

一种用于多晶硅生产中的63对棒还原炉底盘

基本信息

申请号 CN202021867941.2 申请日 -
公开（公告）号 CN213231540U 公开（公告）日 2021-05-18
申请公布号 CN213231540U 申请公布日 2021-05-18
分类号 C01B33/021 分类 无机化学;
发明人 晏涛;唐文东;庹如刚;刘斌 申请（专利权）人 四川永祥新能源有限公司
代理机构 成都天嘉专利事务所（普通合伙） 代理人 向丹
地址 614800 四川省乐山市五通桥区龙翔路999号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种用于多晶硅生产中的63对棒还原炉底盘，属于多晶硅生产设备技术领域。包括底盘本体及63对硅棒，63对硅棒分列为六道呈圆环状设置在底盘本体上，形成六圈硅棒环；底盘本体圆心处设置有中心尾气出口，第六硅棒环与还原炉炉筒内壁之间设置有呈均匀分布的外围尾气出口；还包括设置在六圈硅棒环中的四圈进气喷嘴环，任意一圈进气喷嘴环上的进气喷嘴呈均匀分布；中心尾气出口、硅棒对、进气喷嘴及外围尾气出口之间于底盘本体上呈六等分设置，形成六个夹角为60°的扇形区，六个扇形区的边沿形成六个气流通道。本技术方案有效保证气场的均匀性，实现气相沉积炉内气场控制指标的稳定性，并提高有效产量。