一种瓦片状型波纹式太阳能电池硅基片及其制造工艺

基本信息

申请号 CN201410028013.X 申请日 -
公开(公告)号 CN103746018B 公开(公告)日 2016-04-13
申请公布号 CN103746018B 申请公布日 2016-04-13
分类号 H01L31/0352;H01L31/0236;H01L31/18 分类 基本电气元件;
发明人 仲蓓鑫;曾凤;程实;王强;邓洁 申请(专利权)人 江苏福克斯电气集团有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 226019 江苏省南通市啬园路9号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种瓦片状型波纹式太阳能电池多晶硅基片及其制造工艺,太阳能电池硅基片包括多晶硅基底片本体,所述硅基片本体表面为瓦片状型波纹式非平面结构,呈条状顺序排列。它的制造工艺为:利用常压化学气相淀积法淀积非晶硅掩蔽层和化学腐蚀形成表面形貌。本发明硅基片的表面为瓦片状型波纹式非平面结构。该结构有效的增大了基片的受光面积,且当光从不同角度入射都有直射面,达到了最大限度的利用光能。硅基片的发电效率高。