柔性电子玻璃透明导电氧化物薄膜电路制备方法
基本信息
| 申请号 | CN201710573171.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN107731352A | 公开（公告）日 | 2018-02-23 |
| 申请公布号 | CN107731352A | 申请公布日 | 2018-02-23 |
| 分类号 | H01B5/14;G06F3/044 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 徐从康 | 申请（专利权）人 | 沈阳威泰科技发展有限公司 |
| 代理机构 | 南京苏高专利商标事务所（普通合伙） | 代理人 | 柏尚春 |
| 地址 | 110000 辽宁省沈阳市经济技术开发区开发二十五号路91号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种柔性电子玻璃透明导电氧化物薄膜电路制备方法，镀膜基体为覆盖所需要的塑料电路模板厚度25‑100微米的可绕圈弯曲的玻璃，透明导电氧化物原料为透明导电氧化物平面或圆筒旋转磁控溅射靶材，如铟锡氧化物(ITO)，铝掺杂氧化锌(AZO)，氟锡氧化物(FTO)，镓掺杂氧化锌(GZO)，铟镓掺杂氧化锌(IGZO)，锑锡氧化物(STO)等，该方法包括：柔性玻璃的清洗，塑料电路模板贴合到柔性玻璃上；真空等离子卷对卷(R2R)磁控溅射原子沉积，温度调质处理，厚度和质量检测，保护贴膜。该透明氧化物薄膜厚度为50‑500纳米；导电方阻为5‑500欧姆/方块；透光率75‑95％。 |
