一种用于单晶硅晶圆拉制的大口径石英导流筒
基本信息
| 申请号 | CN202121979653.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215800046U | 公开（公告）日 | 2022-02-11 |
| 申请公布号 | CN215800046U | 申请公布日 | 2022-02-11 |
| 分类号 | C30B29/06（2006.01）I;C30B15/00（2006.01）I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 英浩 | 申请（专利权）人 | 连云港保康石英制品有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 222313江苏省连云港市东海县驼峰新区323省道北，236省道西侧 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种用于单晶硅晶圆拉制的大口径石英导流筒，包括导流筒和防护罩，所述导流筒底部设有固定圈，所述导流筒顶部设有石英盖，所述防护罩一侧顶部设置有托架，所述石英盖表面中心位置通过预留孔贯穿设置有T型搅杆。该导流筒具有防堵塞清理机构，在避免筒内堵塞的同时可对筒内壁进行清理效果，从而提升了导流效果，并具有防护结构，以避免筒体表面受损，从而提升防护性。 |
