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一种用于单晶硅晶圆拉制的耐用石英复投筒

基本信息

申请号 CN202121979758.6 申请日 -
公开（公告）号 CN215800036U 公开（公告）日 2022-02-11
申请公布号 CN215800036U 申请公布日 2022-02-11
分类号 C30B15/02（2006.01）I;C30B29/06（2006.01）I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 英浩 申请（专利权）人 连云港保康石英制品有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 222313江苏省连云港市东海县驼峰新区323省道北，236省道西侧
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种用于单晶硅晶圆拉制的耐用石英复投筒，包括锥形料筒、碗型套和伞型罩，还包括支撑臂、凸起圈、第二螺栓和第一螺栓，所述锥形料筒内顶部依次排布碗型套和伞型罩，所述伞型罩位于碗型套的料口底部，所述锥形料筒底部排料口一侧罩设有弧形防溅罩，所述锥形料筒底部设有一圈与之一体的凸起圈。整体石英复投筒使用稳定高效，具备良好的物料缓冲机构，能够降低单晶硅投料时的冲击力，具有良好的防飞溅组件，以避免飞溅料对拉制的硅棒的粘覆，以保证硅棒拉制加工的品质，具有较高的实用性。