一种用于单晶硅晶圆拉制的石英保温盖板
基本信息
| 申请号 | CN202121979836.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN216107314U | 公开（公告）日 | 2022-03-22 |
| 申请公布号 | CN216107314U | 申请公布日 | 2022-03-22 |
| 分类号 | C30B15/00（2006.01）I;C30B29/06（2006.01）I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 英浩 | 申请（专利权）人 | 连云港保康石英制品有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 222313江苏省连云港市东海县驼峰新区323省道北，236省道西侧 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种用于单晶硅晶圆拉制的石英保温盖板，包括石英盖板、不锈钢杆套和隔层框，所述石英盖板由下石英板、上石英板、透明隔热层和隔层框组成，所述石英盖板内部设置有不锈钢杆套，所述不锈钢杆套由螺栓管和对接套组成。本实用新型采用双层石英板设计，隔音、隔热效果好，且中间填充有气凝胶材料制成透明隔热层，可以提高石英盖板的隔热能力，同时对螺纹孔进行加强，安装时石英盖板不易开裂。 |
