一种半导体设备ALD氮化钛装置喷头旋转打磨治具
基本信息
| 申请号 | CN202022868421.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214265162U | 公开（公告）日 | 2021-09-24 |
| 申请公布号 | CN214265162U | 申请公布日 | 2021-09-24 |
| 分类号 | B24B41/06（2012.01）I;C23C16/455（2006.01）I | 分类 | 磨削；抛光; |
| 发明人 | 王云鹏;贺贤汉;周毅;蒋立峰 | 申请（专利权）人 | 上海富乐德智能科技发展有限公司 |
| 代理机构 | 上海申浩律师事务所 | 代理人 | 赵建敏 |
| 地址 | 200444上海市宝山区山连路181号10幢 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种半导体设备ALD氮化钛装置喷头旋转打磨治具，所述旋转打磨治具呈杯状，杯状治具包括治具底面和治具圆周面；所述治具底面上开设有用于安装在旋转台上的沉头孔以及用于排除积水的漏水孔；且所述治具底面为第一台阶面；所述治具圆周面中间沿径向朝向外侧凹陷形成有第二台阶面，所述第二台阶面的外径等于铝材边沿的外径，第二台阶面的内径大于铝材圆柱的外径；所述第二台阶面上方的圆周面内表面沿周向均匀设置有多个定位凸起，所述盆状喷头的铝材边沿外表面与多个定位凸起一一对应的设置有多个定位凹槽；治具上设有圆周定位凸起与定位凹槽配合，可以保证将盆状喷头产品放入治具中不会产生产品和治具产生打滑的现象。 |
