半导体生产设备的喷淋部件的洗净浸泡治具
基本信息
| 申请号 | CN202022862827.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214263143U | 公开（公告）日 | 2021-09-24 |
| 申请公布号 | CN214263143U | 申请公布日 | 2021-09-24 |
| 分类号 | B08B13/00（2006.01）I;B08B3/04（2006.01）I | 分类 | 清洁; |
| 发明人 | 王云鹏;贺贤汉;周毅;王成明 | 申请（专利权）人 | 上海富乐德智能科技发展有限公司 |
| 代理机构 | 上海申浩律师事务所 | 代理人 | 赵建敏 |
| 地址 | 200444上海市宝山区山连路181号10幢 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及机械技术领域。半导体生产设备的喷淋部件的洗净浸泡治具，包括一支撑架，支撑架包括一支撑面板，支撑面板的上表面用于支撑待浸泡工件，支撑面板呈圆环形；支撑架还包括至少三个周向排布的支撑脚，支撑脚固定在支撑面板的外边缘，支撑脚的顶部设有向上延伸的突起，突起高于支撑面板的上表面；支撑脚的底部开设有用于嵌入突起的插槽。本专利通过优化洗净浸泡治具，便于实现铝部件的浸泡，相对于传统的平铺浸泡大大增加了单次的洗净工件数。加快了生产效率。 |
