一种光刻机及其操作方法
基本信息
| 申请号 | CN202110121266.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112987503A | 公开（公告）日 | 2021-06-18 |
| 申请公布号 | CN112987503A | 申请公布日 | 2021-06-18 |
| 分类号 | G03F7/20 | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 潘幼美;黄培龙;江前庆;乐晓红 | 申请（专利权）人 | 泉州台商投资区百亚网络科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 362100 福建省泉州市台商投资区洛阳镇杏田村杏秀路海丝巾帼众创20号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种光刻机及其操作方法，其结构包括光刻机、滑动开关、双工位旋转装置、激光器、显微镜、控制面板，双工位旋转装置由壳体、旋转工作台、滑动换位机构、第一旋转电机、电动推拉杆、第二旋转电机组成，通过负压吸附机构将载体吸附在第二载片盘上，进而利用第二旋转电机带动第二载片盘旋转工作，避免了载体在刻画过程中出现误差，导致材料的浪费，通过滑动开关控制滑动换位机构往右移动后，在让第一旋转电机带动第一载片盘上的载体旋转工作，进而取出第二载片盘上的载体，加快了光刻机在工作时送入载体与取出载体，提高了工作效率，该结构设计合理，并且结构简单，适于推广使用。 |
