一种太阳能电池制造工艺及链式镀膜设备
基本信息
| 申请号 | CN202110158178.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113035997A | 公开（公告）日 | 2021-06-25 |
| 申请公布号 | CN113035997A | 申请公布日 | 2021-06-25 |
| 分类号 | H01L31/18;H01L31/0216;H01L31/0224 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 上官泉元;闫路;刘宁杰 | 申请（专利权）人 | 江苏杰太光电技术有限公司 |
| 代理机构 | 北京集智东方知识产权代理有限公司 | 代理人 | 吴倩 |
| 地址 | 225500 江苏省泰州市姜堰区姜堰经济开发区陈庄路600号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种太阳能电池制造工艺，包括如下步骤：S1.清洗、制绒；S2.硼扩散；S3.清洗去除BSG层并进行背面抛光；S4.背面沉积隧穿氧化层+掺杂非晶硅层；S5.正面制备氧化铝+氮化硅叠层；S6.退火；S7.背面沉积氮化硅减反保护层；S8.丝网印刷、烧结测试、分选。本发明首先将正面沉积氧化铝、氮化硅薄膜工序调整至退火工序之前，利用退火时的长时间高温充分激发氧化铝、氮化硅的钝化能力，提升电池效率；其次利用氧化铝、氮化硅薄膜预先把硅片正表面遮盖起来，以避免在退火时正表面引入杂质而影响电池性能，同时还可省去退火后的清洗工序，将工艺流程从现有技术的9步简化至8步，从而有效提高生产效率。 |
