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一种TOPCon太阳能电池原位掺杂钝化层的制备方法和系统

基本信息

申请号 2020112298996 申请日 -
公开（公告）号 CN112271237A 公开（公告）日 2021-01-26
申请公布号 CN112271237A 申请公布日 2021-01-26
分类号 H01L31/18(2006.01)I;H01L31/0216(2014.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 闫路;上官泉元 申请（专利权）人 江苏杰太光电技术有限公司
代理机构 北京集智东方知识产权代理有限公司 代理人 吴倩
地址 225500江苏省泰州市姜堰区姜堰经济开发区陈庄路600号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种TOPCon太阳能电池原位掺杂钝化层的制备方法，包括如下步骤：S1.首先将硅片输送进入工艺腔内；S2.硅片进入工艺腔后，先将工艺腔抽真空；S3.然后向抽真空后的工艺腔内通入硅烷和红磷蒸汽作为工艺气体，并开启快速加热将工艺气体和硅片同时快速加热至反应温度后，开启电源激发等离子体放电，硅烷和红磷蒸汽在高温低压真空中反应并在硅片表面生成含磷的硅薄膜，完成原位掺杂。本发明采用一步式原位掺杂的方式取代传统的沉积和掺杂两步式制备掺杂层的方法，并采用安全性更高的红磷蒸汽替代磷烷作为磷掺杂剂，从根本上解决高效太阳能电池产能低、成本高的难题，并显著提高了生产安全性。