首页/ 江苏杰太光电技术有限公司/ 专利详情

一种N型钝化接触太阳能电池的制备方法

基本信息

申请号 CN201911226012.5 申请日 -
公开（公告）号 CN111029438B 公开（公告）日 2021-09-07
申请公布号 CN111029438B 申请公布日 2021-09-07
分类号 H01L31/18;H01L31/0216 分类 基本电气元件;
发明人 陈嘉;马丽敏;包杰;林建伟 申请（专利权）人 江苏杰太光电技术有限公司
代理机构 北京集智东方知识产权代理有限公司 代理人 吴倩
地址 225500 江苏省泰州市姜堰区姜堰经济开发区陈庄路600号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明的一种N型钝化接触太阳能电池的制备方法，其依次包括N型晶体硅基体进行双面抛光、背面依次生长隧穿氧化层及本征非晶硅层、本征非晶硅层掺杂处理、背面沉积氮化硅薄膜、前表面进行制绒、硼扩散、去除正面及绕扩到背面的硼硅玻璃层、正面制备钝化减反膜、背面印刷银浆及正面印刷银铝浆及烧结等步骤，以完成N型钝化接触太阳能电池的制备。本发明解决了常规工艺中因采用磷扩散工艺引起的漏电问题，省去了一步用高温退火激活背面掺杂源的步骤而减小了对硅基体的损伤并减少了工艺步骤，降低了生产成本，且采用板式PECVD设备制备氮化硅钝化膜而避免正面制绒的时候将卡槽印的位置制绒而造成外观不良。