一种原子力显微镜探针

基本信息

申请号 CN201920699591.4 申请日 -
公开(公告)号 CN210690624U 公开(公告)日 2020-06-05
申请公布号 CN210690624U 申请公布日 2020-06-05
分类号 G01Q60/38(2010.01)I 分类 测量;测试;
发明人 孙磊;孙立梅;张守庆;燕虎;孙永泽;高原;古晓晨;刘健 申请(专利权)人 天津易赛思科技有限公司
代理机构 北京沁优知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 天津易赛思科技有限公司
地址 300000天津市滨海新区滨海-中关村科技园荣晟广场4号楼702-18
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型提供了一种原子力显微镜探针,其包括:主体部,所述主体部为平板状;针尖部,所述针尖部设置于所述主体部的长度方向上的一端部,所述针尖部为锥状,所述针尖部具有连接于所述主体部的基端和沿所述主体部的厚度方向延伸并远离所述主体部的自由端,所述针尖部具有多个平面和至少一个弧面,所述基端的横截面的形状由多条直线和至少一条弧线包围形成。通过采用上述技术方案本实用新型所述的一种原子力显微镜探针的寿命较长、分辨率较高。