一种单向阀及其制备方法
基本信息
| 申请号 | CN202010057100.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111120728A | 公开（公告）日 | 2020-05-08 |
| 申请公布号 | CN111120728A | 申请公布日 | 2020-05-08 |
| 分类号 | F16K99/00 | 分类 | 工程元件或部件；为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施；一般绝热; |
| 发明人 | 蔡金东;宋阳阳;王新亮;胡慧珊;马硕 | 申请（专利权）人 | 苏州原位芯片科技有限责任公司 |
| 代理机构 | 北京中知法苑知识产权代理有限公司 | 代理人 | 苏州原位芯片科技有限责任公司 |
| 地址 | 215000 江苏省苏州市工业园区若水路388号纳米大学科技园 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开一种单向阀及其制备方法，所述单向阀包括依次堆叠的第一基片层、中间层、第二基片层，其中：所述第一基片层，设置有第一开口；所述中间层，设置有单向阀体，所述单向阀体包括活塞柱结构以及被所述活塞柱结构间隔的流道，所述活塞柱结构通过活塞弹性膜片与所述中间层相连接；所述第二基片层，设置有第二开口，所述第二开口可与所述流道连通；所述活塞弹性膜片具有预应力变形。本发明的单向阀具有如下优点：(1)可以主动防止流体回流，具有响应快，流控精度高等特点；(2)结构紧凑简单、易加工、体积尺寸小，制造成本低，可大批量生产；(3)通过控制活塞柱下表面与阀体下表面高度差，来预设阀门开启阈值，可满足更多应用场景。 |
