一种谐振式MEMS压力传感器
基本信息
| 申请号 | CN201911112792.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110803675A | 公开（公告）日 | 2020-02-18 |
| 申请公布号 | CN110803675A | 申请公布日 | 2020-02-18 |
| 分类号 | B81B3/00;B81B7/00;B81B7/02;G01L1/10;G01L9/00 | 分类 | 微观结构技术〔7〕; |
| 发明人 | 王辉 | 申请（专利权）人 | 无锡莱斯能特科技有限公司 |
| 代理机构 | 上海智威知识产权代理有限公司 | 代理人 | 无锡莱斯能特科技有限公司 |
| 地址 | 214000 江苏省无锡市新吴区菱湖大道111号无锡软件园天鹅座D栋2502室-003 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种谐振式MEMS压力传感器，包括：敏感膜；至少一根谐振梁，谐振梁的两端分别通过第一锚点和第二锚点固定在敏感膜上；至少一个驱动器，用于驱动谐振梁；至少一个检测器，用于检测谐振梁的谐振频率；转向机构，与谐振梁连接，还与驱动器和检测器中的一个或两个连接，使得驱动器和检测器中的一个或两个的运动方向正交于谐振梁的运动方向。通过转向机构，减少驱动器和/或检测器由敏感膜面外运动产生的位移，从而减小驱动器和/或检测器的静态电容值的变化，达到提高谐振式MEMS压力传感器精确度，减少相位误差和非线性问题。 |
