一种三轴MEMS陀螺仪
基本信息
| 申请号 | CN201911112353.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110779510A | 公开（公告）日 | 2021-07-13 |
| 申请公布号 | CN110779510A | 申请公布日 | 2021-07-13 |
| 分类号 | G01C19/5712 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 王辉 | 申请（专利权）人 | 无锡莱斯能特科技有限公司 |
| 代理机构 | 上海智威知识产权代理有限公司 | 代理人 | 范洁琼 |
| 地址 | 214000 江苏省无锡市新吴区菱湖大道111号无锡软件园天鹅座D栋2502室-003 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种三轴MEMS陀螺仪，包括基底；第一质量块，被配置为能够被驱动以绕结构中心在X方向和Y方向组成的平面内旋转；第一检测装置组，用于检测绕X方向和绕Y方向的角速度；四边形联动结构，设置在第一质量块内部；第二质量块组，包括至少两个第二质量块，对称设置；第二检测装置组，用于检测绕Z方向的角速度；至少两组驱动装置组，每一组驱动装置组包括对称设置的两个驱动方向相反的驱动装置；驱动装置，设置在四边形联动结构内部，被配置为驱动第二质量块组沿X方向移动。本发明的三轴MEMS陀螺仪结构简单、能有效减弱双倍频、非线性问题，输出信号强。 |
