一种三轴MEMS陀螺仪
基本信息
| 申请号 | CN201911390649.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111024057A | 公开（公告）日 | 2020-04-17 |
| 申请公布号 | CN111024057A | 申请公布日 | 2020-04-17 |
| 分类号 | G01C19/5712 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 王辉 | 申请（专利权）人 | 无锡莱斯能特科技有限公司 |
| 代理机构 | 上海智威知识产权代理有限公司 | 代理人 | 无锡莱斯能特科技有限公司 |
| 地址 | 214000 江苏省无锡市新吴区菱湖大道111号无锡软件园天鹅座D栋2502室-003 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种三轴MEMS陀螺仪，包括基底，第一检测部，用于检测绕X方向的角速度；第二检测部和第三检测部，对称设置在第一检测部的两侧，分别和第一检测部相连，并被设置为能够提供方向相反的驱动力，以及能用于检测绕Y方向和绕Z方向的角速度；其中，X方向垂直于Y方向，Z方向垂直于X方向和Y方向；悬挂装置，设置在第一检测部、第二检测部和第三检测部外侧，悬挂装置和第二检测部及第三检测部相连，并和支撑装置相连，实现悬挂装置的悬挂；和支撑装置，固定设置在基底上。本发明的三轴MEMS陀螺仪结构简单、紧凑、输出信号强。 |
