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一种三轴MEMS陀螺仪

基本信息

申请号	CN202010029730.X	申请日	-
公开（公告）号	CN111174772A	公开（公告）日	2020-05-19
申请公布号	CN111174772A	申请公布日	2020-05-19
分类号	G01C19/5712;G01C19/5733	分类	测量；测试;
发明人	王辉	申请（专利权）人	无锡莱斯能特科技有限公司
代理机构	上海智威知识产权代理有限公司	代理人	无锡莱斯能特科技有限公司
地址	214000 江苏省无锡市新吴区菱湖大道111号无锡软件园天鹅座D栋2502室-003
法律状态	-

摘要

本发明公开了一种三轴MEMS陀螺仪，包括基底；第一检测部，用于检测绕X方向的角速度；第二检测部和第三检测部，对称设置在第一检测部的两侧，分别和第一检测部相连，并被设置为能够提供方向相反的驱动力，以及能用于检测绕Y方向和绕Z方向的角速度；其中，X方向垂直于Y方向，Z方向垂直于X方向和Y方向；和悬挂装置，通过锚点组悬浮设置在基底上，并设置在第一检测部、第二检测部和第三检测部外侧，和第二检测部及第三检测部相连；悬挂装置被设置为能使得第二检测部和第三检测部发生沿Z方向的运动时，第二检测部和第三检测部保持平行于或大致平行于基底。本发明的三轴MEMS陀螺仪的结构紧凑、低成本，并能减弱或消除双倍频，其输出信号强。