一种用于储存电子级一氧化氮的钢瓶及其加工方法

基本信息

申请号 CN202111639926.1 申请日 -
公开(公告)号 CN114321698A 公开(公告)日 2022-04-12
申请公布号 CN114321698A 申请公布日 2022-04-12
分类号 F17C1/10(2006.01)I;F17C1/00(2006.01)I;F17C13/00(2006.01)I;C23C8/08(2006.01)I;C23C16/06(2006.01)I;C23C16/40(2006.01)I;C23C16/50(2006.01)I;C23C28/00(2006.01)I 分类 气体或液体的贮存或分配;
发明人 赵毅;裴凯;焦中鹏;施旖旎 申请(专利权)人 大连科利德光电子材料有限公司
代理机构 浙江千克知识产权代理有限公司 代理人 赵佳
地址 116200辽宁省大连市普湾新区松木岛化工园区纬一街7号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及特种气体储存领域,尤其涉及一种用于储存电子级一氧化氮的钢瓶,其包括钢瓶本体,所述钢瓶本体的内壁处设置有一层钝化层,所述钝化层的表面呈点状分布有渗硼区,所述钝化层的表面还设置有一层铝膜,在铝膜的外部沉积有一层二氧化硅薄膜。本发明通过在钢瓶的内比表面依次沉积多层结构,能够使得钢瓶内壁的粗糙度大幅下降,使得杂质不会附着在钢瓶内壁上,从而污染储存在钢瓶内的电子级气体,本发明钢瓶内壁具有化学惰性,能够长时间存放电子级气体,保证电子及气体的纯度与品质。此外,钢瓶内壁的铝膜以及二氧化硅薄膜与基体之间的结合强度较高,能够防止在使用过程中与基体剥离,降低钢瓶使用寿命。