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电子级三氯化硼的制备方法及其所获得的三氯化硼

基本信息

申请号 CN202111681448.0 申请日 -
公开（公告）号 CN114162830A 公开（公告）日 2022-03-11
申请公布号 CN114162830A 申请公布日 2022-03-11
分类号 C01B35/06（2006.01）I 分类 无机化学;
发明人 赵毅;刘颖;赵银凤;吴冬辉;毕聪智 申请（专利权）人 大连科利德光电子材料有限公司
代理机构 浙江千克知识产权代理有限公司 代理人 赵佳
地址 116200辽宁省大连市普湾新区松木岛化工园区纬一街7号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及化工分离技术领域，具体涉及一种电子级三氯化硼的制备方法及其所获得的三氯化硼，在生成目标产物三氯化硼之前，先使金属杂质与氯气生成金属氯化物，由于金属与氯气反应温度通常在350℃至450℃，低于碳化硼与氯气生成三氯化硼的温度。因此在控制温度条件，可以将两种产物分开生成。生成的金属氯化物在400℃至450℃温度下已经气化，随着未反应的氯气排出。去除金属杂质后，再进行碳化硼与氯气的反应，生成目标产物三氯化硼。本发明可以深度去除三氯化硼中的金属氯化物杂质，去除率达到95%以上。结合吸附和精馏，对其它杂质进行有效去除，得到的三氯化硼纯度达到99.999%，满足5N标准。