一种碳化硅微管检测装置及方法
基本信息
| 申请号 | CN202011510804.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112666166A | 公开（公告）日 | 2021-04-16 |
| 申请公布号 | CN112666166A | 申请公布日 | 2021-04-16 |
| 分类号 | G01N21/88;G01N21/95 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 黄英俊;马军 | 申请（专利权）人 | 法博思（宁波）半导体设备有限公司 |
| 代理机构 | 北京知呱呱知识产权代理有限公司 | 代理人 | 丁彦峰 |
| 地址 | 201600 上海市松江区中山街道明南路85号15幢1层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种碳化硅微管检测装及方法置，所述装置包括：相机成像装置、光源控制器、起偏器和验偏器，通过光源控制器控制不同的光源经过半反射镜偏折后，通过起偏器和验偏器后照射被测物，生成不同的图像，所述相机成像装置采集图像，判断被测物是否存在瑕疵。本发明解决了现有碳化硅微管质量检测效果不佳，导致良品率低的问题。 |
