3D形貌测量误差的在线补偿测量装置
基本信息
| 申请号 | CN201920238210.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN209230556U | 公开（公告）日 | 2019-08-09 |
| 申请公布号 | CN209230556U | 申请公布日 | 2019-08-09 |
| 分类号 | G01B11/24 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 宋金龙;黄英俊;马军 | 申请（专利权）人 | 法博思（宁波）半导体设备有限公司 |
| 代理机构 | 北京知呱呱知识产权代理有限公司 | 代理人 | 上海谦视智能科技有限公司 |
| 地址 | 201100 上海市闵行区新骏环路115号1幢4层402室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型实施例公开了一种3D形貌测量误差的在线补偿测量装置，属于产品测量设备领域，其技术方案要点包括基准垫片、固定夹具、产品测量传感器和补差测量传感器，所述基准垫片水平设置在3D形貌测量仪的滑台上，所述固定夹具固定在基准垫片上方，所述固定夹具上侧放置待测产品，所述产品测量传感器设置于固定夹具上方，所述补差测量传感器设置于3D形貌测量仪的滑台下方，达到了消除由于滑台平整度不高造成的测量误差，降低滑台生产成本的效果。 |
