一种测试装置、测试模组及控制方法
基本信息
| 申请号 | CN202110107453.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112433140A | 公开（公告）日 | 2021-03-02 |
| 申请公布号 | CN112433140A | 申请公布日 | 2021-03-02 |
| 分类号 | G01R1/04(2006.01)I;G05B19/04(2006.01)I;G01R31/26(2014.01)I;G01R1/02(2006.01)I;G01L19/12(2006.01)I;G01R1/073(2006.01)I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 蒋锴;李春勇;舒凯;仇伯仓;柯毛龙;徐化勇;冯欧 | 申请（专利权）人 | 江西铭德半导体科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京清亦华知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 彭琰 |
| 地址 | 330000 江西省南昌市南昌小蓝经济技术开发区富山大道以南、金湖以西 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种测试装置、测试模组及控制方法，涉及检测技术领域，该测试装置包括电源探针与检测探针，还包括：外壳，外壳呈空心结构以构成压力腔，压力腔内注入有介质，电源探针与检测探针的至少部分处于压力腔内并与介质接触；活塞，设于压力腔中并与外壳的内壁滑动接触；驱动器，用于驱动活塞沿压力腔的轴向往复运动，以驱动介质并促使电源探针与检测探针往复运动；控制器，与驱动器电性连接以控制驱动器的驱动行程；压力传感器，设于外壳上且至少部分伸入压力腔内，压力传感器与控制器电性连接以反馈压力腔内的压力值。本发明能够解决现有技术中多个探针无法保持始终一致的压力的技术问题。 |
