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一种微悬臂梁的制备方法

基本信息

申请号	CN202011622766.5	申请日	-
公开（公告）号	CN112744782A	公开（公告）日	2021-05-04
申请公布号	CN112744782A	申请公布日	2021-05-04
分类号	B81C1/00	分类	微观结构技术〔7〕;
发明人	高阳;李春勇;舒凯;仇伯仓;柯毛龙;徐化勇;冯欧	申请（专利权）人	江西铭德半导体科技有限公司
代理机构	北京清亦华知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	彭琰
地址	330000 江西省南昌市南昌小蓝经济技术开发区富山大道以南、金湖以西
法律状态	-

摘要

本发明提供一种微悬臂梁的制备方法，包括：提供一衬底，并在衬底的上表面外延生长Al_XGa_1‑XAs薄层；在Al_XGa_1‑XAs薄层的上表面旋涂第一光刻胶，并通过第一光刻掩膜板对第一光刻胶进行曝光、显影，得到光刻胶微悬臂梁图形；以光刻胶微悬臂梁图形为掩膜，对Al_XGa_1‑XAs薄层和衬底进行刻蚀，并刻穿Al_XGa_1‑XAs薄层且刻蚀部分衬底；将Al_XGa_1‑XAs薄层氧化成Al₂O₃薄层；在Al₂O₃薄层和衬底的上表面旋涂第二光刻胶，并对二光刻胶层进行曝光、显影，以在Al₂O₃薄层一侧开设窗口；从窗口处侧向选择性腐蚀掉所述Al₂O₃薄层下部的部分衬底材料。本发明为微悬臂梁提供了一种新的可行制备方法和途径，主要制备得到以Al₂O₃作为材料的微悬臂梁结构、并以GaAs材料作为衬底，有效提升微悬臂梁的性能和灵敏性。