一种多样化有源像素生物传感探测系统
基本信息
| 申请号 | CN201510527830.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN105206634B | 公开（公告）日 | 2018-10-16 |
| 申请公布号 | CN105206634B | 申请公布日 | 2018-10-16 |
| 分类号 | H01L27/146;H04N5/374 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 马汉彬;李嘉浩;苏阳;阿洛基亚那桑 | 申请（专利权）人 | 南京剑桥新港科技发展有限公司 |
| 代理机构 | 南京瑞弘专利商标事务所（普通合伙） | 代理人 | 陈建和 |
| 地址 | 210038 江苏省南京市经济技术开发区兴科路12号紫金新港(南西)科创基地101-1室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种多样化有源像素生物传感探测系统，包括基于大面积电子电路制造工艺的一次性生物传感像素电路即TFT生物传感像素电路和重复利用的基于CMOS信号处理芯片结合在一道；生物传感像素电路部分与信号处理芯片实现分离；TFT生物传感像素电路基于大面积电子电路制造技术，采用各种真空镀膜工艺：热蒸发镀膜、磁控溅射镀膜、气相沉积镀膜、分子层沉积镀膜；各种基于溶液法的半导体器件系统制备工艺进行制备：旋涂、滴途、喷墨打印、平板打印。一种多样化有源像素生物传感探测系统，其包括基于TFT生物传感像素电路和可重复利用的CMOS处理芯片。同时实现对生物样本的光学和电学的大规模检测。 |
