一种带有氧气循环使用系统的ITO靶材烧结炉
基本信息
| 申请号 | CN201810377628.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN108548423A | 公开（公告）日 | 2018-09-18 |
| 申请公布号 | CN108548423A | 申请公布日 | 2018-09-18 |
| 分类号 | F27D7/04;F27D17/00;F27D19/00 | 分类 | 炉；窑；烘烤炉；蒸馏炉〔4〕; |
| 发明人 | 王雪涛;王新会;马春元;宋蕊立 | 申请（专利权）人 | 河北惟新科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 050000 河北省石家庄市高新区方亿科技园A区3号楼5层01-02厂房 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种带有氧气循环使用系统的ITO靶材烧结炉，所述氧气循环使用系统包括通过主管道首尾依次连通的用于对烧结炉排出的气体进行分析的气体分析单元、用于对排气进行压缩缓冲的加压单元、净化排气的净化单元以及向烧结炉内输送氧气的充气单元，所述气体分析单元的进气口与ITO靶材烧结炉排气口连通，充气单元的出气口与烧结炉进气口连通；所述氧气循环使用系统还包括分别与气体分析单元、加压单元、净化单元以及充气单元连接的控制器。能够将炉体内排出的氧气经过处理后重新输入炉体内部进行循环利用，氧气回收使用率为90%以上，降低了生产成本，消除了由于氧气排放而引发的安全隐患。 |
