一种提高ITO靶材坯体强度的方法
基本信息
| 申请号 | CN201910125113.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111593304A | 公开（公告）日 | 2020-08-28 |
| 申请公布号 | CN111593304A | 申请公布日 | 2020-08-28 |
| 分类号 | C23C14/34(2006.01)I;C23C14/08(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 王雪涛;宋蕊立;李玉新 | 申请（专利权）人 | 河北惟新科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 050000河北省石家庄市高新区长江大道238号宏昌科技园7号楼一层102、106、107室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种提高ITO靶材坯体强度的方法，其特征在于，在向石膏模中浇注ITO浆料前，首先配置保护液，然后将保护液涂覆于石膏模型腔表面，然后再浇注ITO浆料，在ITO浆料浇注完成后，在石膏模中裸露的ITO浆料表面喷洒保护液，成型后脱模即可得到表面裹附有固化保护膜的ITO浆料坯体。本发明的应用，可在ITO靶材坯体表面形成固化保护膜，从而对ITO靶材坯体起固定作用，大大提高了坯体的强度，避免了ITO靶材坯体生产过程中出现开裂等问题的出现，提高了转移成品率。 |
