大尺寸、无中间缺陷的ITO平面靶素坯生产方法
基本信息
| 申请号 | CN202110345069.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112917643A | 公开（公告）日 | 2021-06-08 |
| 申请公布号 | CN112917643A | 申请公布日 | 2021-06-08 |
| 分类号 | B28B1/26;B28B7/00;B28B7/34;B28B7/46;B28B7/42;B28B11/24 | 分类 | 加工水泥、黏土或石料; |
| 发明人 | 王玉军;杨建新;刘洪福;刘志猛 | 申请（专利权）人 | 河北惟新科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 050000 河北省石家庄市高新区长江大道238号宏昌科技园7号楼一层102、106室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种大尺寸、无中间缺陷的ITO平面靶素坯生产方法，具体包括以下步骤：制备ITO浆料；将制备的浆料加入到多孔树脂模具中，制备ITO平面靶坯体；在纯氧气氛中，将ITO平面靶坯体放入烧结炉中进行烧结，得到ITO平面靶素坯。本发明通过在坯体制备阶段采用多孔树脂模具以及在烧结工序中采用多层烧结进气方法，不仅可以生产出致密度高、合格率高的优质ITO平面靶，而且还大大降低了能耗，节约了生产成本，提高了生产效率，为低成本ITO平面靶的国产化提供了可行性方案。 |
