感光性组合物及其制备方法、图案形成方法、应用
基本信息
| 申请号 | CN202010039782.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111413849A | 公开（公告）日 | 2020-07-14 |
| 申请公布号 | CN111413849A | 申请公布日 | 2020-07-14 |
| 分类号 | G03F7/039(2006.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 钱晓春;胡春青;龚艳 | 申请（专利权）人 | 常州强力光电材料有限公司 |
| 代理机构 | 常州市权航专利代理有限公司 | 代理人 | 常州强力先端电子材料有限公司;常州强力电子新材料股份有限公司;常州强力光电材料有限公司 |
| 地址 | 213000江苏省常州市天宁区郑陆镇武澄工业园 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明属于光刻技术领域，具体涉及一种感光性组合物及其制备方法、图案形成方法、应用。其中感光性组合物包括以下原料：树脂组分和磺酸酯光酸产生剂。能够用于碱显影液溶解曝光的正型感光性组合物，形成具有优异的分辨率、灵敏度和良好对比度的图案。 |
