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一种气溶胶平滑分束装置

基本信息

申请号 CN201110026915.6 申请日 -
公开（公告）号 CN102175505A 公开（公告）日 2011-09-07
申请公布号 CN102175505A 申请公布日 2011-09-07
分类号 G01N1/36(2006.01)I;G01N27/64(2006.01)I 分类 测量；测试;
发明人 袁洪林;杨雪;宗春蕾;戴梦宁;陈开运;包志安 申请（专利权）人 西安西大科技工程研究院有限公司
代理机构 西安恒泰知识产权代理事务所 代理人 李郑建
地址 710069 陕西省西安市太白北路229号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种气溶胶平滑分束装置，包括进气口、匀化室、气溶胶比例分割器和出气口，进气口的外端与激光剥蚀腔的出口端相连，内端从边部非轴向导入到匀化室中，气溶胶经过匀化后经插入4/5的导出管道排至气溶胶分割器并分至两路出气口，分别连至不同的检测设备进行分析测试；匀化室的椭球形设计使得气溶胶组成更加均一；气溶胶比例分割器可依据需要在线调节两个出气口气溶胶分配比例；本发明充分保证了分配至两个出气口的气溶胶组成与原始样品完全一致，并使得具有脉冲的信号得到匀化后更稳定，得到准确度更高、精密度更好的分析结果。