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一种激光剥蚀等离子体质谱的样品引入装置

基本信息

申请号 CN201110004603.5 申请日 -
公开（公告）号 CN102184832A 公开（公告）日 2011-09-14
申请公布号 CN102184832A 申请公布日 2011-09-14
分类号 H01J49/04(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 袁洪林;戴梦宁;宗春蕾;陈开运;包志安 申请（专利权）人 西安西大科技工程研究院有限公司
代理机构 西安恒泰知识产权代理事务所 代理人 李郑建
地址 710069 陕西省西安市太白北路229号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种激光剥蚀等离子体质谱的样品引入装置，包括外室和样品座，外室的一端封闭，外室为长直形，外室的顶板上设置外室观察口，外室的侧面设置有两个载气进气口；样品引入装置还包括小内室，小内室为中空的圆柱，该小内室位于外室内部且倒扣悬挂在外室观察口下方，该小内室上端为内室观察口，内室观察口上覆盖透明材料，小内室的侧面开有出气口，该出气口通过外室导出；样品座安装在外室的底部且未接触小内室，在样品座的前、后两个侧面与外室的前、后侧内壁之间均装有定位弹珠；本发明减少了因样品更换而导致的频繁开启样品仓盖对气路系统的影响，使得等离子体质谱分析信号更稳定，得到准确度更高、精密度更好的分析结果。